隨著測角儀、計數器、光譜室溫度穩定等新技術的進步，使現代X射線熒光光譜儀的測量精密度與準確度有了較大改善。特別是人工合成多層膜晶體的開發應用使輕元素鈹、硼、碳、氮、氧等的X射線熒光光譜分析分析成為可能，這類晶體是由低原子序數和高原子序數物質以納米級厚度交替疊積而成，其層間厚度可以人工控制，如OVO－B晶體的間距為20納米，適用于硼和鈹的分析。由于X射線管的功率增大，鈹窗減薄，X射線管與樣品的距離縮短，為輕元素分析配備了超粗準直器，降低了元素的檢出限，技術發展使現代X射線熒光光譜儀的檢測范圍可達到4Be(鈹)～92U(鈾)，對元素的檢測范圍為10-6%～100%。

　　

　　XRF光譜的優點：

　　1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

　　

　　2、X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定。

　　

　　3、非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。

　　

　　4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。

　　

　　5、分析精密度高。

　　

　　6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。